常用净化车间洁净度等级一览表
净化车间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。而且，在制药工厂里，根据产品的纯度、作业工序，需有从M3.5到M6.5（100，000）范围广泛的级别不等净化间。因此说，各种产业所需要的净化间，其要求的洁净度是不同的。
表：各产业所要求的净化车间级别一览
领域和产业 |
洁净度标准（级别） |
内容 |
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SI |
English unit |
|||
半导体工业（IC、LSI等） |
掩模板对准工艺 |
M3.5 |
100 |
|
刻蚀工艺 |
M3.5 |
100 |
腐蚀加工 |
|
扩散工艺 |
M3.5 |
100 |
高纯度扩散 |
|
蒸着工艺 |
M3.5 |
100 |
高纯度电镀 |
|
涂布工艺 |
M3.5 |
100 |
感光剂涂布 |
|
电子设备 |
计算器制造 |
M5.5 |
10,000 |
磁头 |
阴极射线管 |
M5.5 |
10,000, |
遮屏 |
|
磁带 |
M5.5 |
10,000 |
防止杂音 |
|
精密仪器 |
陀螺、微型轴承 |
M5.5 |
10,000 |
提高精度 |
部件、继电器 |
M5.5 |
10,000 |
防止误动作 |
|
钟表、小型计量仪器 |
M5.5 |
10,000 |
组立、封装、修理 |
|
光学、印刷 |
照相机、印刷电路板 |
M5.5 |
10,000 |
制作 |
镜头、胶片 |
M4.5 |
1,000 |
连接 |
|
电子制版 |
M5.5 |
10,000 |
制作、检查 |
|
化学药品 |
注射液充填 |
M3.5 |
100 |
调和、充填 |
无菌动物养育 |
M3.5 |
100 |
SPF |
|
化学药品 |
抗生物 |
M5.5 |
10,000 |
充填、检查 |
一般医疗品 |
M6.5 |
100,000 |
制造 |
|
食品 |
酿造、发酵 |
M5.5 |
10,000 |
防止酱油、大酱腐坏 |
乳制品、生食品 |
M6.5 |
100,000 |
防止酸乳酪变质 |
|
食肉加工 |
M5.5 |
10,000 |
火腿、香肠 |
|
搅拌(弄成糊状)食品 |
M5.5 |
10,000 |
搅拌后备烤的圆筒形、半圆形鱼肉、鱼肉山芋丸子等食品制冷时防止细菌粘附上。 |
|
医疗 |
手术室 |
M3.5 |
100 |
股关节手术、脏器移植 |
特殊治疗室 |
M3.5 |
100 |
白血病、烫伤 |
|
恢复、新生儿室 |
M3.5 |
10,000 |
早产儿、术后防止感染 |
|
临床检查 |
M5.5 |
10,000 |
菌类培植、检查 |
|
农林畜产 |
蘑菇栽培 |
M5.5 |
10,000 |
防止蘑菇种菌被杂菌感染 |
植物 |
M6.5 |
100,000 |
兰花栽培（试验用无菌植物、强势培植植物） |
|
养殖 |
M5.5 |
10,000 |
防止鱼、蚕类因菌侵袭致死 |
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微生物工程 |
一般病原体 |
M3.5 |
100 |
马尔堡病毒、拉萨氏热、艾伯拉出血热（排出空气） |
基因转换 |
M3.5 |
100 |
大肠菌（排出空气） |
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