洁净室的检测规范

在测试无尘室之前，若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解，对测试当有帮助。这里是一些背景资料，提供给读者参考。
　　有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的标准，在网络上用〝contamination control〞搜寻，可以找到很多相关数据。无尘室的定义，zui早是在美国联邦标准209上出现，之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本，随着工业的日益发展，各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期，产业界体认到若是无共同标准，就不能实现经济的化，于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。
1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E)：美国联邦标准209E，209的出版发行，是在1960年代，之后不断改版以因应科技进步与工业发展，版本从原始的209、209A，一直到1992年的zui后一版209E。在2001年11月29日，美国正式宣布废止209E，改用ISO-14644，于是209E在书面上走入历史。但是在产业界，除了部份的欧洲公司之外，美国、日本、中国台湾、与中国大陆，都还沿用209E。微粒计数器的制造商，虽然都推出满足公制计数法的新机型，但是要等旧机器*淘汰，恐怕还要很长时间，因此新规范ISO-14644还没能取代209E。
2.ISO-14644系列；美国政府为了推动经济化，就很大方的放弃了自己的209E，改而推行全部使用公制的标准ISO-14644。14644系列有8个子题<Part>，称为14644-1，14644-2，一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等，范围很广。有些主题已经定案，如Part 1和Part 2，有些只有初稿<Draft>，有些连初稿都还没有，读者可以到ISO或IEST的上订购。
3.JIS B9920 (1989)：日本的洁净标准，规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式，及洁净度的等级定义。
4.VDI 2083 (1993)：德国的洁净标准，规定洁净度等级的定义方式，以及洁净度的测量技术。
5.Gost-R 50766 (1995)：俄的洁净标准，定义无尘室的分类与一般需求。
　　以上是无尘室等级规定，与洁净度测量的相关标准。另外有关无尘室污染控制 <也就是洁净度控制> ，和环境控制 <如温湿度、震动噪音等> ，也有一些重要的测试规范，因为这些环境影响因素，都包含在无尘室性能测试的范围之内。
1.IEST-RP-CC-006.2：这本有名的测试规范，目的就是为了补209的不足。209只有微粒测量，006包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006的*版称为006-84-T，006.2是第二版。现在由于NEBB的兴起，0062已经功成身退，逐渐消失了。
2.NEBB无尘室测试规范第二版：这是目前zui广为流行的测试规范，提到无尘室认证，就非NEBB莫属。NEBB无尘室测试规范，可说是IEST-0062的改良版，其测试涵盖范围差不多，但是测试程序更为清楚严谨，仪器使用也有详细规定。因此NEBB无尘室测试规范的出现，解决了不少测试的争议，也因此NEBB无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关NEBB，请参照本站NEBB。
3.ISO-14698系列：14698有Part 1、Part 2、Part 3三个子题，是有关无尘室里面生物污染的控制，目前都只有初稿。
　　每一种行业，甚至每一家公司或工厂，对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范，虽然以可满足大部份厂商的需求，但是严格来讲，这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时，应依照自己的制程需求，在上述规范里取出自己适用的部份，并要求供货商与测试单位照办，必要时可以酌情修改测试标准，才能真正满足自己的需求。